E1200卧式热反应系统

       PCB抄板是反向技术研发一个重要的应用领域。利用PCB抄板对产品进行拆解，从产品的pcb文件、BOM清单、原理图等设计要素入手进行研究，从而达到对引进技术进行消化、吸收和再创新的目的。迄今为止，PCB抄板已经形成一个较为成熟的行业，市场布局也从先前的克隆与复制逐渐向技术改造更新和高端化方向发展。

一、 产品简介

E1200型卧式热反应系统是由德国centrotherm公司研制的特为研发、小批量生产用热反应系统。具有小体积、高工艺性能等特点

可用作常压CVD、LPCVD、PECVD、扩散、氧化、退火等工艺过程，以优良的品质、极小的体积、低成本的特点，特别适合低产量、多工艺适应性加工要求的研发或小批量生产。

       二、 工艺特性

常压工艺

LPCVD工艺

PECVD工艺

三、 产品特性

多可搭配4组石英管或碳化硅管反应炉；

清洁的自动载舟系统；

反应炉独立控制提供了优质的小批量或复杂工艺能力；

先进的水冷却系统设计杜绝反应炉的温度干扰不耗用洁净室空气；

设备参数：

反应炉使用晶片尺寸：150mm（多50片）或200mm（多25片）

加热系统：3组300mm恒温区，温差0.5℃；

温控范围：200℃～1300℃；

可处理工艺气体种类：H₂、Ar、N₂O、N₂、SiH₄、NH₃、B₂H₆、PH₃、SiH₂Cl₂；

系统总功率：55kW

电源供给：400V.80A；

压缩空气：600～1000kPa；

冷却水流量：50～70LPM

排气能力：400m³/H

       智联科技是国家级高新技术企业，自成立以来专注于高端电子装备的正反向研发与设计，我司在芯片解密领域已经有十多年的实战经验，能成功解密国外高端电子产品之芯片的程序，包括对机器代码的反汇编，或者通过编译器将机器代码反编译成标准C语言，提取算法，以及二次研发涉及的原理图，BOM表等，并可提供产品全套技术解决方案。