惰性气体纯化器PCB抄板与PCB设计案例
性能特点:
净化程度深,可以除去象N2等惰性杂质
双塔结构,一组工作,另一组备用
工作温度较低,能耗少
技术参数:
流 量:1m3/h
输出压力:0.3MPa
功 率:1.0KW
外型尺寸:440×600×1230mm
使用电源:220V
原料气:≤200ppm(露点≤-30℃)
输出纯气:≤1ppm(露点≤ -70℃)
尘埃粒子数:3-5个/升(≥0.3μm)
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